半導體工業的廢氣如何處理

　　半導體指的是在常溫下導電效能介於導體與***緣體之間的一種材料╃│☁▩◕，主要應用於積體電路·↟▩、消費電子·↟▩、通訊系統·↟▩、光伏發電·↟▩、照明·↟▩、***功率電源轉換等***域╃│☁▩◕，在半導體工業加工的過程中將會有部分的氣體排出╃│☁▩◕，那半導體工業的廢氣有毒嗎╃│☁▩◕，怎麼處理***?

 

 

　　半導體工業在加工的過程中會使用到光刻膠·↟▩、蝕刻液·↟▩、清洗劑·↟▩、顯影劑等溶劑╃│☁▩◕，而這些溶劑是含有***量的有機物成分╃│☁▩◕，排放出來的廢氣含有HCl·↟▩、氨·↟▩、HF等危險汙染物╃│☁▩◕，而主要處理的是具有揮發性的VOCs↟◕。

 

　　溫馨提示✘▩↟☁│：VOCs汙染物為有機化合物╃│☁▩◕，在濃度較高且有火花或靜電情況下╃│☁▩◕，極易發生閃爆現象↟◕。

 

　　半導體在製造過程中一般的汙染源包括顆粒汙染物·↟▩、金屬離子和化學物質等╃│☁▩◕，而這些都是屬於有害的汙染物↟◕。

 

　　半導體廢氣處理方法根據工業廢氣成分進行廢氣處理裝置的選擇✘▩↟☁│：

 

　　沸石轉輪吸附濃縮裝置✘▩↟☁│：主要用於有機廢氣的治理╃│☁▩◕， ***別適合於***風量╃│☁▩◕，低濃度場合;

 

　　噴淋塔✘▩↟☁│：對於含有酸性/鹼性物質的廢氣 ╃│☁▩◕，半導體廠封閉車間***都採用***型臥式洗滌塔進行廢氣處理↟◕。

 

　　TO直燃爐(催化燃燒裝置)✘▩↟☁│：對***風量·↟▩、低濃度的VOCs廢氣╃│☁▩◕，TO直燃爐一般會搭配沸石轉輪使用↟◕。

 

　　半導體工業廢氣是具有毒性的╃│☁▩◕，不同的工業採用的工藝原材料不同╃│☁▩◕，因此採用的廢氣處理裝置以及工藝都是不一樣的╃│☁▩◕，具體的解決方案可諮詢宏森環保的線上工程師↟◕。